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圧力センサ / Pressure Sensors  
■ オンチップ形圧力センサꢀEPX021, EPX035  
On-chip Type Pressure Sensors  
形ꢀ式  
最大圧力  
測定圧力  
電源電圧  
動作温度範囲  
外ꢀ形  
Type  
Absolute max. pressure Pressure range Supply voltage Operating temperature Package  
kPa  
kPa  
Volts  
℃
Can package  
金属ケース  
EPX021  
EPX035  
450  
20 to 112  
5
–40 to 110  
60 to 107  
–30 to 85  
Resin package  
200  
樹脂ケース  
外形寸法 Dimensions, mm  
EPX021  
EPX035  
φ2.4  
4
GND  
VOUT  
VCC  
7.62  
精度表 Pressure error  
圧力変換特性 Pressure transfer curve  
EPX021  
EPX035  
EPX021  
(96FS)  
V
OUT  
V
OUT  
（Ｖ）  
3.05  
（Ｖ）  
3.96  
4.0  
3.5  
3.0  
2.5  
2.0  
1.5  
1.0  
1.77  
1.2  
112  
kPa.a  
0
60 106.7  
kPa.a  
0
20  
-40 -30  
25  
100110℃  
EPX035  
精度  
（％FS）  
8.0  
6.0  
4.0  
2.0  
-30  
25  
85 温度  
（℃）  
51